BL09U INFORMATION

当サイトの情報を無断で転載、複製、改変等を行うことを禁止いたします。

主な測定法

HAXPES（硬Ｘ線光電子分光法）

概要

アンジュレータを光源とし、二結晶分光器で分光した単色Ｘ線を利用できるビームラインです。テンダーＸ線から、硬X線領域までをカバーしていますが、HAXPES測定においてはエネルギーを 6keVに固定して利用に供します。

ビーム特性

エネルギー　: (2.1)5～15keV
フラックス　: 3.7x10¹²～7x10¹³ cps　（計算値、エネルギー、実験条件による）
※光量調整用のAlフィルターを実験ハッチ３内に設置
（50µm,100µm,150µmから組み合わせ自由に選択可能）
ビームサイズ　: ※Au 30µmΦワイヤーでの測定による値
　TOA＝0° < 12.5 µm(H) x 3 µm(V)
　TOA＝88° < 360 µm(H) x 3 µm(V)

ハッチの大きさ

約9.5m（光軸方向）× 約4.5m（幅）× 約4m（高さ）

光源と光学系

166極・周期長22mmの直線偏光アンジュレータを光源とし、液体窒素冷却Si(111)二結晶分光器で単色化したＸ線ビームが利用可能である。実験ハッチには二枚組の高調波除去ミラーが設置されている。下流にはチャネルカット結晶、ダイヤモンド移相子、ウォルターミラーが設置されている。

実験ステーション

実験装置: 【硬Ｘ線光電子分光装置】
検出器: 【Sienta社製　光電子アナライザー】
試料について: ・試料サイズ：最大16mm(縦)×14mm(横)　(厚みは2.5mm以下)
※厚みが2.5mm以上の場合には、試料搬送方法を変更する必要がございます。
利用予約前に担当コンシェルジュ、もしくはビームライン担当者にご相談をお願いいたします。

・試料キャリアサイズ　　　　　　　　　・試料マウント例（Si基板）
　：16mm(縦) × 14mm(横)　　　　　　：7mm(縦) × 7mm(横) × 0.65mm(厚み)
　　　

カーボンテープを使い、試料を固定。
※導電性のない試料の場合、測定が上手く行えません。
導電性確保のため、試料表面に金属の蒸着処理等をご検討ください。

※試料サイズを、4mm(縦) × 10mm(横)程度までカットしていただくと、
１つの試料キャリアに３つの試料をマウント可能です。

※メインチャンバーのマニュピレーターに5つの試料キャリアが入ります。

・チャージアップ対策について

カーボンコートによる、チャージアップ対策に十分なコート厚みを調査した。
サンプルは、スライドガラス(Na2O-CaO-SiO2)に、SANYU QUICK CARBON COATER SC-701CTを
使用し、0,3,6,9,12,15 nmの6パターンでコートしたものを用意した。
0,3,6 nmではチャージアップが見られ、Na(基板情報)が検出されなかった。
9 nm以上では、スペクトルが安定し、Na(基板情報)が検出された。
また、12,15 nmに比べ基板情報の感度も良いため、カーボンコートは10 nm前後を推奨。

・嫌気性サンプルについて

　トランスファーベッセルを用いた大気非曝露での試料搬送が可能です。
　上記のように準備したサンプルキャリアを５つ同時にセットできます。
　（サンプルの厚みは2.5mm以下）
※利用するビームタイムの前後にトランスファーベッセルを用いた実験が
行われた場合、大気曝露可能なサンプルでもトランスファーベッセルを
使った試料搬送を行うことがございます。
試料キャリアについて: 試料キャリアは数に限りがあるため、事前貸し出しを行っておりません。
事前のサンプルセット等で必要であれば、ユーザー様ごとに製作していただく
必要がございます。
発注先については特に指定などはございませんが、弊財団からは同型のものを
真空光学(株)に作製を依頼した実績がございます。

試料キャリア図面は以下のとおり
※クリックするとPDFで表示されます。

・試料キャリア(プレート)

・試料キャリア(土台)

※上記キャリアを固定するのにM2-8皿ねじが必要です。（キャリア1つあたり4本）