BL08U

主な測定法

• 【標準測定】
• 軟X線吸収分光 (XAS)
• 軟X線光電子分光 (XPS) – AP-XPS装置を利用
• 【アドバンスト測定】
• 雰囲気光電子分光 (AP-XPS)
• オペランド軟X線吸収微細構造 (operando SX-XAFS)
• 軟X線吸収・蛍光・共鳴イメージング (SAFARI ※開発中)

概要

BL08Uは180～2000 eVの軟X線を利用して、物質の電子状態解析を行う ビームラインです。APPLE-II型の楕円偏光アンジュレータによって、 水平・垂直直線偏光や左右円偏光を利用する設計となっています (水平直線偏光以外の利用を希望する場合にはご相談下さい)。 偏角および発散角のエネルギー依存性がない光学系を採用しており、 高エネルギー分解能モードでの軟X線分光測定および高フラックスモード での走査型イメージングが可能です。

実験装置として、雰囲気軟X線光電子分光（AP-XPS）装置が配置されており、 固体の化学状態を定量分析することができます。 試料上の光スポットサイズは30 µm(縦) x 80 µm(横)です。 標準測定では超高真空（10^-10 mbar）での測定を、 アドバンスト測定では100～1013 mbarでの測定を実施できます。 測定時の試料温度は室温から500℃まで対応しています。

ビーム特性

• エネルギー 180～2500 eV
• フラックス 下図の通り（エネルギーや実験条件に依存する）
  
  
• ビームサイズ XPS:30 µm(縦)×80 µm(横)，XAS:1 mm(縦)×1 mm(横)非集光

光源と光学系

71極・周期長56 mmのAPPLE-II型アンジュレータを光源とし、回折格子分光器で 単色化した軟Ｘ線ビームが利用可能です。分光器の下流にスリットがあり、 エネルギー分解能の調整や、走査型イメージングにおける仮想光源として 利用できます。

実験ステーション

• 測定法 XPS ・1スペクトル2-3分程度
  
  AP-XPS ・1スペクトル15分程度
  
  SX-XAFS（全電子収量法、部分蛍光収量法） ・1スペクトル15分程度
  
  測定時間は目安であり、試料の形態や元素濃度などに依存します。
• 試料サイズ XAS：最大で14 mm(縦)×12 mm(横)（厚みは数mm）
  XPS：最大で11 mm(縦)×11 mm(横)
• サンプルプレート ・XPS　　　　　　　　・SX-XAFS(標準測定)
  
  
  SX-XAFS(標準)の試料マウントについて
• 試料について XPS：導電性のある固体で、観察対象が表面から2 nm以内に存在すること
  SX-XAFS：
  　・全電子収量法：観察対象が表面から5 nm以内に存在する導電性固体
  　・部分蛍光収量法：観察対象が表面から100 nm以内に存在する固体
  　　絶縁性試料に対応

トランスファーベッセル(標準測定SX-XAFS装置用)

トランスファーベッセル　　　　　　サンプルバンク

トランスファーベッセルのご利用を希望される場合、利用申込時にその旨を併せて、ご記載ください

測定までの流れ(標準測定)

・XPS

・SX-XAFS