概要

物質・材料研究機構(NIMS)が導入する新装置「軟X線マルチモーダルオペランド顕微分光装置」では、固体の電子状態／ 化学状態分析を行うことができます。集光ミラーを使用することで、試料上で1μm以下に集光した光と、フレネルゾーンプレ ートにより試料上でΦ100nm以下に集光した光を利用できます。集光された光を利用することで、均一な試料だけでなく、 微細試料、多結晶、コンビナトリアル試料の分析が可能です。標準測定としてXPS、UPS、XAS、アドバンスト測定として ARPES、SARPES、ナノ集光計測、動作環境計測を計画しています。半導体材料、スピントロニクス材料、電池材料、熱電 材料などの定常状態測定と動作環境下測定が可能です。
（注）上記の値は設計値であり、実際の値とは異なる可能性があります。

測定法

XPS、UPS、XAS、ARPES、SARPES

試料サイズ

・最大で 5 mm × 5 mm (厚みは最大で数 mm)

試料について

・固体（導電性があり、観察対象が表面から2 nm以内に存在すること）
・超高真空環境に悪影響を及ぼさないもの

運用開始時期

当初は 2025年5月の運用開始を目指していましたが、調整に時間を要する ことが明らかになったため、10月から段階的に運用を開始する予定です。 10月から利用可能となる測定は非集光ビームを用いたXPSを予定しています。
より詳細な運用開始の予定につきましては、目処が立ち次第、ご案内させていただきます。

このページの先頭へ