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基本情報

  • 撮影視野水平 1 mm × 垂直 1 mm 程度
  • 空間分解能約 1 µm
  • 画素サイズ0.65 µm
  • 測定時間約 10 分 / 試料
  • データ容量65 GB / 試料 (2 TB以上のUSBストレージをご持参ください)
  • エネルギー6 keV ~ 18.3 keV (通常は 8.3 keV または 15 keV から選択)
  • 試料サイズ直径 1 mm 以下の円柱、または 1 辺 1 mm 以下の四角柱。長さ 10 ~ 50 mm。
  • 固定方法円柱状ホルダーへの固定(両面テープ、粘土など)
  • 測定方法0.1度刻みで180度回転撮影(1800枚の透過像から再構成)
  • データ移行転送速度 1000 MB/s 以上のSSDを推奨します。

レイアウト

  • CMOS camera
    モデル: C13440-20CU (浜松ホトニクス)
  • シンチレータ
  • X-Yステージ
    モデル: YA-04-R102-NNR (神津精機)
    可動域: ±5mm X-Yステージ
  • Zステージ
    モデル: ZA-10A-W202 (神津精機)
    可動域: ±7mm
  • サンプルステージ

    ③のステージに下図のような四角穴がある板をM3ネジで取り付けています。
    その四角穴へサンプルホルダを設置します。

    ビーム照射位置はステージ天面から49mmです。
    Zステージはそこから±7mm移動できます。
    高さが足りない場合、5 mm、10 mmのスペーサを用いることができます。 サンプルステージ
  • カプトン窓(暑さ:75μm)

測定の流れ

測定の流れ

測定例

爪楊枝 15keV
爪楊枝 (15 keV)
露光:100ms/投影、投影数:1800、画素:0.65 µm
爪楊枝 9keV
爪楊枝 (9 keV)
露光:100ms/投影、投影数:1800、画素:0.65 µm
砂粒
砂粒
エネルギー:15 keV、画素:0.65 µm
米のかけら
米のかけら
エネルギー:15 keV、画素:0.65 µm
紙やすり
紙やすり (15 keV)